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日本SMC帶節流閥的真空破壞閥 ?1臺閥同時具有真空吸附和破壞功能。 ?帶有節流閥，可調節破壞空氣的流量。 ?在同一個集裝式閥上可混合安裝標準型閥。 ※使用單獨EXH.隔板時
日本SMC帶節流閥的真空破壞閥 ?適合0603芯片。 ?內置2個閥柱。 ?使用1個閥即可控制真空吸附和破壞。 ?寬10mm（與SJ3000系列尺寸相同）。 ?帶能夠調節破壞空氣流量的節流閥。 ?真空側、破壞側內置可更換的過濾器。 ?可與4通電磁閥SJ2000/3000混合安裝（訂制規格）。
日本SMC真空、破壞單元閥 ?適合0603芯片。 ?響應速度：13msec（500mm時※）/18.5msec（1000mm時※）。 ?可實現無超調的平滑工件脫離。 ?無需調節真空、正壓的切換時點。 ?不需要破壞空氣的節流回路。 ?真空過濾器：ZFC050（訂制規格）。
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